三氯氢硅（化学式SiHCl₃）是一种重要的有机硅化合物，常温下为无色透明液体，具有刺激性气味且极易挥发。作为半导体和光伏产业的关键原料，它主要通过硅粉与氯化氢在高温（300-500℃）下反应制得，其纯度要求极高（电子级需达99.9999%以上），微量杂质都会影响下游产品的电学性能。需要特别注意的是，该物质遇水会剧烈水解生成盐酸和硅氧烷，储存时必须隔绝空气与湿气。
在工业生产中，三氯氢硅展现出双重特性：既是制造高纯多晶硅的核心中间体（通过西门子法还原），又是合成有机硅单体的基础原料。当温度超过450℃时，氢气可将其还原为棒状多晶硅（太阳能级纯度6N-8N），这是光伏电池片的主要材料。同时，它还能与烯烃发生加成反应，生成各类硅烷偶联剂，广泛用于密封胶、涂料等复合材料领域。
由于其蒸汽与空气混合易形成爆炸性气体（爆炸极限4.1-70.5%），操作时需严格防爆。当前全球产能主要集中在德国瓦克、美国Hemlock等企业，我国通过改良流化床工艺已实现技术突破，单套装置年产能可达5万吨。随着N型光伏电池技术升级，对三氯氢硅的品质要求正向11N级（99.999999999%）演进，这推动了分子筛吸附、低温精馏等纯化技术的持续创新。
