三氯氢硅作为重要的有机硅中间体，根据其纯度和应用领域主要分为工业级与电子级两大类。工业级三氯氢硅（纯度98%-99.9%）主要应用于硅烷偶联剂生产，是制造防水剂、交联剂的关键原料，其杂质含量控制相对宽松，但需要重点关注重金属含量（如铁≤50ppm）。电子级三氯氢硅（纯度≥99.99%）则对杂质控制极为严格，特别是硼、磷等电活性杂质需控制在ppb级别，主要用作半导体行业的高纯硅源。
从生产工艺角度区分，可分为直接合成法和副产回收法。前者通过硅粉与氯化氢在流化床反应器（温度280-350℃）直接合成，产物纯度较高但能耗较大；后者则是多晶硅生产过程中的副产品，成本优势明显但含有较多高沸物（如四氯化硅含量可达5%），需要经过精密精馏提纯。近年来还出现了改良西门子法生产的超高纯产品（金属杂质≤0.1ppb），专门用于12英寸晶圆制造。
在功能性衍生物方面，三氯氢硅还可分为烷氧基改性产品（如甲基三氯硅烷CH3SiCl3）和氨基改性产品。前者通过醇解反应制得，具有更好的水解稳定性；后者则含有活性氨基（如NH2SiCl3），在特种树脂合成中表现出独特的反应活性。需要特别注意的是，不同晶型的三氯氢硅（α型与β型）在储存稳定性上存在明显差异，β型在潮湿环境中更易发生自聚反应。
从包装储存方式来看，可分为钢瓶装（压力0.2-0.5MPa）和吨桶装两类。电子级产品多采用经过特殊钝化处理的316L不锈钢容器，并充入干燥氮气保护（露点≤-70℃）。工业级产品则常见PE内衬的碳钢储罐，但需严格控制水分含量（≤50ppm），否则极易水解生成氯化氢腐蚀设备。运输过程中保持温度在25℃以下尤为关键，高温会导致产品分解速率显著提升。
