三氯氢硅作为多晶硅生产的关键原料，其矿场分布与工业硅产能密切相关。全球主要产区集中在中国、美国和欧洲，其中新疆、云南等地的硅石矿（SiO₂含量＞99%）通过电弧炉冶炼后形成工业硅，再经过氢氯化工艺转化为三氯氢硅。需要重点关注的是内蒙古、宁夏等西北地区，这些区域依托低廉电价和丰富石英砂资源，形成了完整的"硅矿-工业硅-三氯氢硅"产业链。
在海外布局方面，美国西弗吉尼亚州和挪威奥斯陆周边拥有成熟的三氯氢硅生产基地，采用改良西门子法（反应温度300-500℃）进行规模化生产。德国瓦克化学在博格豪森的工厂则通过流化床工艺（FBR法）实现了更高纯度（电子级≥99.9999%）产品的制备。值得注意的是，这些海外企业通常采用上下游一体化模式，从石英岩开采到最终产品封装形成闭环。
随着光伏行业需求激增，新兴产区如马来西亚关丹工业园区、越南广宁省近年也建设了配套三氯氢硅设施。这些项目多采用中国转移的改良技术，利用当地丰富的硅砂资源（储量超10亿吨）和港口优势，产品主要供应东南亚太阳能电池片制造商。未来产业布局可能向非洲莫桑比克等石英矿富集区延伸，但受制于氯碱配套不足，短期仍以基础硅料出口为主。
